工作原理

ContourGT-X采用白光干涉技术，通过垂直扫描样品表面，记录不同高度位置的干涉条纹变化。LED白光经显微物镜聚焦后，在样品表面与参考镜面产生干涉，CCD相机捕获干涉条纹的相移信息，结合专利的“三维重建算法”生成高度数据。设备支持大面积拼接（最大100mm×100mm）与三维渲染，垂直分辨率达0.1nm，横向分辨率0.1μm，符合ISO 25178与ASTM E2909标准。

应用范围

该仪器适用于半导体（芯片表面平整度检测、封装缺陷分析）、光学（透镜/棱镜表面形貌验证）、材料科学（涂层厚度测量、薄膜应力分析）及生物医学（植入物表面粗糙度控制、微流控芯片通道检测）等领域。其非接触式测量可避免损伤精密样品，是表面形貌表征的核心工具。

产品技术参数

测量范围：横向0.1mm~100mm（自动拼接），垂直1nm~10mm

分辨率：横向0.1μm，垂直0.1nm（RMS重复性）

扫描速度：<1秒/帧（高速模式），<5分钟/全幅（高精度模式）

样品台：五轴自动样品台（X/Y/Z/旋转/倾斜，最大尺寸φ300mm）

光源：LED白光（波长450~650nm，寿命>5000小时）

物镜：2.5×~100×（数值孔径0.07~0.95）

软件平台：Vision64（支持三维渲染、粗糙度分析、台阶高度计算）

数据接口：千兆以太网、USB 3.0

电源：AC 100-240V（50/60Hz，功率≤300W）

尺寸：800mm×600mm×1200mm（重量≤150kg）

产品特点

亚纳米级垂直分辨率：0.1nm精度精准表征表面粗糙度与台阶高度；

非接触无损伤测量：避免接触式探针划伤精密样品（如半导体芯片、光学镜片）；

快速扫描与高精度模式：高速模式<1秒/帧，高精度模式<5分钟/全幅，适配不同检测需求；

智能化软件平台：Vision64支持自动对焦、三维渲染、ISO/ASTM标准参数计算（如Sa、Sz）与报告生成；

大样品容量与多尺度分析：最大300mm直径样品台，支持从微米级特征到毫米级区域的全局形貌表征；

扩展模块兼容性：可选配透明层测量模块（如薄膜厚度）、原位环境腔（支持液体/气体暴露）；

安全防护设计：紧急停止、样品台防撞保护、数据加密存储，符合实验室安全规范；

合规认证：通过CE认证，符合ISO 25178、ASTM E2909标准。

ContourGT-X提供一年整机质保与物镜校准服务，其精准、高效、非接触的特性，成为三维光学形貌测量领域的高端解决方案，助力用户实现从基础研究到工业质量控制的全流程需求。