工作原理

AXIS SUPRA+采用单色化Al Kα X射线源（1486.6eV）或Mg Kα源（1253.6eV），激发样品表面1-10nm深度的光电子。光电子经半球形能量分析器分选后，由32通道电子倍增器检测，通过光电子动能与强度的关系生成能谱图。设备搭载岛津专利的“智能电荷补偿技术”，可自动修正样品表面电荷效应，结合灵敏度因子法实现高精度半定量分析（精度±5%），符合ISO 15472与ASTM E1504标准。

应用范围

该仪器适用于材料科学（金属/半导体表面氧化态分析）、电子工业（芯片界面污染检测）、环境监测（大气颗粒物化学组成解析）及生物医学（生物材料表面功能化验证）等领域。其表面敏感性可精准解析纳米薄膜、催化剂活性层及聚合物表面改性效果，是表面与界面研究的核心工具。

产品技术参数

X射线源：单色化Al Kα/Mg Kα（功率300W，稳定性±0.1%）

能量分辨率：0.45eV（Ag 3d₅/₂峰，Al Kα源）

灵敏度：0.05%原子浓度（半定量分析）

扫描深度：1-10nm（依材料而定）

样品台：五轴自动样品台（X/Y/Z/旋转/倾斜，最大样品尺寸φ50mm）

真空系统：涡轮分子泵+离子泵（本底真空<5×10⁻¹⁰mbar）

探测器：32通道电子倍增器（动态范围10⁶）

软件平台：CASA XPS（支持能谱解析、化学态标定、图像映射与三维重建）

数据接口：千兆以太网、USB 3.0

电源：AC 100-240V（50/60Hz，功率≤1.5kW）

尺寸：1500mm×1000mm×1200mm（重量≤600kg）

产品特点

超高能量分辨率与灵敏度：0.45eV分辨率精准区分化学态（如氧化物与金属态），0.05%灵敏度适配痕量表面元素分析；

快速扫描与自动化：单点分析<3分钟，支持自动序列运行与电荷补偿；

多模式扩展能力：可选配紫外光电子能谱（UPS）模块、离子散射谱（ISS）附件或原位环境腔（支持气体/液体暴露）；

智能化软件平台：CASA XPS软件支持自动峰识别、化学态数据库比对、图像映射与定量报告生成；

极致真空环境：本底真空<5×10⁻¹⁰mbar，减少样品污染与背景干扰；

安全防护设计：辐射防护罩、紧急停止、自动泄压阀，符合实验室安全规范；

合规认证：通过CE认证，符合ISO 15472、ASTM E1504标准。

AXIS SUPRA+提供一年整机质保与X射线源校准服务，其精准、高效、表面敏感的特性，成为X射线光电子能谱分析领域的高端解决方案，助力用户实现从基础研究到工业质量控制的全流程需求。