工作原理
设备通过压电换能器发射1-110MHz高频超声波,经纯净水耦合介质传递至样品内部。当声波遇到材料界面(如裂纹、气孔、分层)时,因声阻抗差异产生反射波,探头接收反射信号后转换为电信号,经数字化处理生成灰度图像。其核心优势在于支持A/B/C/T多模式扫描:A扫显示波形时域特征,B扫呈现纵向剖面结构,C扫生成平面缺陷分布图,T扫通过透射模式检测深层缺陷。例如,在IGBT模块检测中,C扫模式可清晰定位焊层空洞,B扫模式可分析散热流道堵塞深度。
应用范围
覆盖多行业核心检测场景:半导体领域检测晶圆键合分层、塑封器件二次打标痕迹;新能源汽车行业验证液冷散热器真空回流焊空洞、电池包焊接气密性;航空航天领域评估复合材料脱粘、钛合金锻件内部裂纹;精密制造行业分析金刚石刀具结合强度、陶瓷基板焊接质量。设备支持500mm×340mm×145mm大范围扫描,单次检测20mm×20mm区域耗时<90秒,满足生产线在线抽检需求。
技术参数
定位精度X/Y轴≤±0.5μm,Z轴≤±5μm;重复定位精度X/Y轴≤±0.01mm,Z轴≤±0.02mm;厚度检测范围0.3-20mm(依材料选配10-75MHz探头);缺陷识别能力达0.07mm(50MHz探头);支持1-4000μm图像分辨率调节;工作温度20-35℃,湿度≤50%RH,适配去离子水或自来水耦合。
产品特点
微米级精度:50MHz探头可识别0.07mm微裂纹,满足车规级IGBT模块检测标准;
智能分析:内置机器视觉算法,自动计算缺陷面积、空洞率,生成符合GB/T 11259-2015标准的定量报告;
高效扫描:800mm/s最大扫描速度,支持批量检测水冷板、散热器等大型工件;
环境适应:IP54防护等级,抗电磁干扰设计,适配车间复杂环境。