工作原理

ET4000采用直动力LVDT检出器与超低噪音技术，通过直径0.5μN-500μN的触针以恒定力扫描样品表面，实时捕捉探针位移信号并转换为数字信号。其核心算法可自动修正地板振动、环境噪音等干扰，确保测量稳定性。设备支持2D/3D表面重建，可同步输出台阶高度、粗糙度（Ra/Rq/Rmax）、平面度、曲率半径等60余项参数，满足国际标准（ISO/JIS/ASTM）的合规性要求。

应用范围

该设备覆盖多场景检测需求：在半导体领域，可测量晶圆表面台阶高度、蚀刻深度及薄膜应力；光伏行业用于检测硅片表面粗糙度与镀膜均匀性；生物医学领域支持人工关节、植入物表面形貌分析；此外，还适用于MEMS器件、光学元件、精密模具等场景的纳米级形貌验证，助力企业实现生产过程的质量闭环控制。

技术参数

ET4000测量范围达Z轴100μm、X轴100nm、Y轴150-400mm，分辨率Z轴0.1nm、X轴0.01μm，重复性1σ≤0.5nm。其采用花岗岩基座与空气轴承导轨，直线度达0.005μm/5mm，可长距离量测而不失真。设备支持12寸晶圆测量，配备高分辨率CCD定位系统与500组数据存储功能，兼容USB/HDMI接口，适配PC端分析软件。

产品特点

超高精度：0.1nm级分辨率与0.5nm重复性，媲美原子力显微镜（AFM）的测量能力；

低损伤检测：触针力可调至0.5μN，适用于软质材料（如聚合物薄膜）的表面分析；

多功能集成：单台设备可替代台阶仪、粗糙度仪、轮廓仪，降低企业采购成本；

环境适应性：花岗岩机身与密封设计，适应车间、实验室等复杂环境，减少温湿度对测量的影响。