工作原理

PU-FM15采用电感式传感器与精密导轨系统，通过直径25μm的金刚石触针以0.5mm/s的恒定速度划过被测表面，触针垂直位移通过电感线圈转化为电信号，经16位A/D转换器处理后生成数字化轮廓曲线。设备支持ISO 4287/4288、ASME B46.1等国际标准，可同步计算Ra、Rz、Rq等30余种粗糙度参数，并配备高斯滤波器实现波长分离，有效区分表面波纹度与形状误差。

应用范围

该设备广泛应用于汽车制造、航空航天、精密机械等领域：在汽车行业，可检测发动机缸体密封面粗糙度（Ra≤0.8μm）及曲轴圆角轮廓；在半导体领域，支持晶圆表面平整度测量（PV值≤500nm）；在模具加工中，可分析注塑模具型腔的复制精度。此外，设备兼容金属、陶瓷、塑料等材料，满足从微电子元件到大型结构件的检测需求。

技术参数

测量范围：X轴50mm，Z轴30mm

分辨率：0.25μm（Z轴）

垂直精度：±(0.05+L/300)μm（L为测量长度）

触针压力：0.75mN（可调）

扫描速度：0.05-0.5mm/s

数据接口：USB 2.0/RS-232C

标配软件：支持3D形貌重建、ISO参数自动计算及报告生成

产品特点

高精度与稳定性：采用花岗岩基座与空气轴承导轨，温度漂移＜0.1μm/℃，确保24小时连续测量稳定性。

多功能集成：单台设备可完成轮廓测量、粗糙度分析、波纹度检测及形状误差评定，支持与三坐标测量机联动实现逆向工程。

人性化设计：7英寸触摸屏支持一键式操作，配备自动校准模块与激光定位系统，可快速定位复杂曲面测量点。

扩展性强：提供激光干涉仪、白光干涉仪等选配件，支持纳米级表面形貌测量，满足超精密加工领域需求。