工作原理

JV-DX基于X射线与晶体原子散射波的干涉效应，通过布拉格定律（2d sinθ = nλ）解析衍射角（2θ）与晶面间距（d）的关系。仪器配备平行光束多层反射镜及可选晶体光学元件，可在标准XRD、高分辨率XRD（HRXRD）和X射线反射率（XRR）模式间自动切换，无需手动调整光路，确保每次测量均采用最佳配置。

应用范围

广泛应用于半导体行业（外延层厚度/应变分析、晶圆翘曲度检测）、材料科学（晶体结构解析、相组成定量）、化学分析（无机/有机材料形态鉴定）、矿物学（矿石成分分析）及生物材料（蛋白质晶体结构研究）等领域。其300mm晶圆映射功能可满足大尺寸样品的全自动扫描需求。

技术参数

X射线源：2.2kW Cu LFF靶管，标配Ge004晶体（分辨率<10 arcsec）

测角仪：Omega范围0°-90°，2θ范围0°-140°，分辨率<0.2 arcsec

样品台：5轴欧拉支架，X/Y/Z轴定位精度≤0.01mm，支持100°倾斜（Chi）与无限方位旋转（Phi）

探测器：动态范围>2×10⁷，可选三轴晶体分析模块

软件：JV-RADS分析套件，集成PeakSplit算法实现倒数空间图快速解析

产品特点

全自动化操作：从样品校准到数据分析全程由计算机控制，支持用户自定义测量流程。

高精度与灵活性：300mm晶圆水平贴装技术结合极点图测量功能，可精准评估残余应力分布。

模块化设计：光源光学元件、探测器及样品台支持快速更换，适配从纳米薄膜到块状晶体的多元分析需求。

行业领先软件：基于30年X射线表征经验开发，提供HRXRD模拟、XRR厚度计算及双轴/三轴衍射扫描功能。