工作原理
SPL-8060T采用平行光投影技术,通过高功率LED冷光源生成均匀平行光束,照射被测工件表面后,由美国TEO 800TV线工业高清晰彩色CCD相机捕捉投影图像。设备搭载美国PMS连续自动变倍镜头(0.7-4.5X),无需校正即可实现20X-200X影像放大,结合全闭环伺服控制系统,确保X/Y/Z三轴运动精度达0.001mm。测量时,系统通过光栅尺实时反馈位置数据,利用ZONSON 2D-CNC测量软件对图像进行边缘提取、几何拟合及尺寸计算,最终输出高精度测量结果。
应用范围
该设备广泛应用于电子、半导体、精密机械及汽车制造领域:可高效检测PCB板、光学玻璃、连接器、金属薄片等工件的轮廓、表面形状、尺寸、角度及位置精度;支持大型钣金件、精密模具的批量检测;适用于半导体元器件的微米级缺陷分析,满足高精度、高重复性的工业检测需求。
技术参数
测量范围:X 800mm × Y 600mm × Z 250mm
工作台承重:30kg(玻璃台面850mm×650mm)
光学系统:20X-200X连续变倍,工作距离95mm
运动控制:三轴伺服马达全闭环控制,光栅尺分辨率0.001mm
测量精度:X/Y轴≤(2.5+L/200)μm,Z轴≤(5+L/200)μm
光源系统:6环8区LED冷光源,256级亮度可调
产品特点
高稳定性结构:整机采用00级天然大理石底座与立柱,热膨胀系数低,长期使用精度无衰减。
智能化操作:ZONSON 2D-CNC软件支持自动变倍、影像拼接及CAD图纸导入比对,简化复杂工件编程流程。
探针防护技术:测针配备自动回弹保护功能,碰撞速度及回弹距离可预设,避免测头损坏。
模块化扩展:可选配同轴冷光源、激光扫描探头及XY自动载物台,实现三维测量与自动化检测。