工作原理

ZR-1650采用激光散射与多通道粒子计数技术。激光二极管发射稳定光源，空气中的尘埃粒子通过检测腔时散射光线，高灵敏度光电探测器将散射光转换为电脉冲信号。信号经放大、甄别后，由电路系统统计不同粒径的脉冲数量，最终通过彩色触控屏实时显示数据。设备内置微型真空泵维持2.83L/min的流量，并配备HEPA过滤器净化排出气体，避免二次污染。

应用范围

设备适用于多场景超微颗粒监测需求：

半导体行业：晶圆制造、芯片封装的超净环境微污染控制；

生物医药：细胞培养室、生物安全柜的0.1μm级颗粒动态监测；

航空航天：卫星装配车间、精密仪器实验室的空气洁净度验证；

科研机构：纳米材料研究、气溶胶物理特性分析的基础实验；

高端制造：光学元件生产、液晶面板制造的微粒污染溯源。

产品技术参数

粒径范围：0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm（6通道同步检测）；

流量控制：2.83L/min（±3%FS），内置微型真空泵；

计数效率：0.1μm粒子≥50%，≥0.2μm粒子≥100%；

浓度上限：5×10⁵P/ft³；

光源：激光二极管（波长650nm）；

显示：5英寸彩色触控屏，汉字图形化界面；

数据存储：支持SD卡扩展（最大32GB），内置UCL计算功能；

电池续航：连续采样≥8小时；

设备尺寸：280mm×180mm×150mm；

重量：4.8kg；

执行标准：GB/T 6167-2007、ISO 14644。

产品特点

超微颗粒检测：最低检测粒径达0.1μm，满足半导体、生物医药等高端领域的超净需求；

高精度与快速响应：支持0.1μm粒径检测，响应时间＜5秒，适配动态监测与污染溯源；

智能功能：内置HEPA自净系统（自净时间＜3分钟），支持三级用户管理与审计追踪；

合规与认证：符合ISO 14644、GMP等国际标准，数据具备法律效力；

数据管理：支持SD卡存储、无线传输及UCL自动计算，适配现场报告生成；

耐用性：防尘防水设计（IP54），适配车间、实验室等复杂环境。