工作原理
该设备采用高精度激光位移传感器与精密运动平台协同工作:测量时,被测工件固定于可旋转载物台,激光传感器沿X轴方向发射线激光,通过高分辨率CMOS相机采集工件表面轮廓数据;同时,Z轴运动平台带动传感器垂直移动,实现全高度扫描;系统基于三角测量法计算各点高度坐标,通过软件算法拟合基准面,并自动计算工件表面与基准面的垂直度偏差;测量结果以三维轮廓图、垂直度误差曲线等形式实时显示,支持数据导出与报告生成。
应用范围
适配多行业垂直度检测需求:
机械加工:检测轴类零件端面垂直度、齿轮轴键槽垂直度、导轨安装面垂直度;
模具制造:验证模具型芯垂直度、模板分型面垂直度,确保注塑/压铸产品合模精度;
半导体封装:测量晶圆载片台垂直度、引线框架引脚垂直度,保障芯片封装良率;
航空航天:检测涡轮叶片榫头垂直度、飞机结构件连接面垂直度,满足高可靠性要求。
技术参数
测量范围:垂直高度0-100mm,X轴扫描宽度0-50mm;
垂直度精度:±0.5μm(2σ),重复性≤0.3μm;
分辨率:0.1μm(Z轴),0.01mm(X轴);
扫描速度:单线扫描≤0.5秒,全轮廓扫描≤5秒;
数据接口:USB 3.0、RS-232,支持DXF/CSV格式导出;
工作环境:温度20℃±2℃,湿度≤60%RH(恒温室推荐)。
产品特点
智能分析:内置垂直度、平行度、直线度等10种几何公差计算模块,一键生成检测报告;
高刚性结构:大理石基座与航空铝立柱组合,热变形系数≤0.5μm/℃,确保长期测量稳定性;
可视化操作:8英寸触摸屏实时显示三维轮廓与误差分布,支持局部放大与关键点标注;
兼容性强:可适配市面主流三坐标测量软件,支持二次开发接口,满足定制化需求。