简介： 这台三维原子探针（APT、3DAP）是目前具有最高3D空间分辨率的分析技术，主要用于研究纳米尺度的微结构（如析出相、团簇、GP区）以及界面上元素的偏聚行为，能够以原子级别的分辨率给出金属、半导体、陶瓷、地质和生物等材料内部的三维成分分布。设备参数包括分析仓真空度约10⁻¹¹ Torr，样品台最低温度25 K，空间分辨率0.1 nm，最高脉冲频率500 kHz，激光能量范围1-1000 pJ。功能配置包括电压脉冲和激光脉冲工作模式、真空低温传输模块、高频发生器、数据处理工作站系统以及实时初步三维重构功能，能够满足高精度的三维成分分析需求。