场发射透射电子显微镜(高温样品杆)
广泛应用于
纳米材料、薄膜材料、高分子材料、半导体、陶瓷、生物等各种材料
主要用途
高分辨场发射透射电子显微镜广泛应用于纳米材料、薄膜材料、高分子材料、半导体、陶瓷、生物等各种材料,结合能谱仪可以对微区元素含量及分布进行表征,热电样品杆可实现TEM下原位加热实验。
项目介绍
设备参数/指标
l 加速电压:20 – 200 kV
l 信息分辨率:0.12 nm
l 线分辨率:0.10 nm
l STEM分辨率:0.16 nm
l 样品台:TX/TY:±35°/ ±30°
l 高温杆温度:RT – 1200℃
功能配置
l 16分割式STEM探头
l 4×30mm2极靴内能谱探测器
l TEM/EDS/NBD/CBD模式
l 晶带轴自动校正/倾转模块
l 热电样品杆