这台场发射环境扫描电子显微镜（ESEM）具有独特的低真空和环境真空模式，广泛应用于金属材料、高分子材料、无机材料（包括矿物、岩土和含水分材料）等的表面二次电子形貌观察、背散射电子组分区分以及能谱元素成分分析。其加速电压范围为200 V至30 kV，电子束流范围为1 pA至200 nA。在高真空模式下，分辨率为1.0 nm（二次电子，SE，30 kV），低真空和环境真空模式下的分辨率为1.3 nm（SE，30 kV）。最大样品高度为85 mm，样品台倾转角度为-15°至+90°。功能配置包括高分辨肖特基场发射电子枪、压差真空系统保护装置、70 mm²电制冷能谱仪以及SmartScan智能扫描和图像导航功能，能够满足多种材料的微观分析需求。

主要用途

场发射环境扫描电子显微镜具有独特的低真空、环境真空模式，广泛应用于测试各种材料，如金属材料、高分子材料、无机材料（矿物、岩土、甚至含水分材料）等的样品表面二次电子形貌信息，背散射电子组分区分，能谱元素成分分析。

项目介绍

设备参数/指标

l 加速电压：200 V – 30 kV

l 电子束流：1 pA -200 nA

l 高真空分辨率：1.0 nm（SE，30 kV）

l 低真空分辨率：1.3 nm（SE，30 kV）

l 环境真空分辨率：1.3 nm（SE，30 kV）

l 最大样品高度：85 mm

l 样品台倾转角度：-15° to + 90°

功能配置

l 高分辨肖特基场发射电子枪

l 压差真空系统保护装置

l 70mm2电制冷能谱仪

l SmartScan智能扫描和图像导航