这台原位场电子发射显微镜（原位扫描电子显微分析系统）不仅具备普通扫描电镜对材料表面微观形貌、微区元素分析及晶体结构分析的功能，还能用于研究材料在原位拉伸、高温实验中的微观组织结构变化，以及变化过程中元素和晶体结构的动态变化。其电镜分辨率高达0.7 nm @15 kV（二次电子，SE）和0.6 nm @1 kV（Inlens），放大倍率范围为12-2,000,000×。探针电流不小于20 nA，束流稳定性优于0.2% /h，加速电压范围为0.02 kV至30 kV，连续10V可调。样品台具备X≥130 mm、Y≥130 mm、Z≥50 mm的移动范围，倾斜角度为-4~70°，旋转角度为360°。电子枪真空度优于10⁻⁷ Pa，样品室真空度优于2.7×10⁻⁴ Pa，样品台倾转角度为-10°~60°。功能配置包括样品室内的二次电子探测器、背散射电子探测器，镜筒内的Inlens二次电子探测器和能量选择背散射探测器，以及能谱仪EDS、电子背散射衍射仪EBSD和原位台（支持加热、拉伸、剪切、弯曲等功能），能够满足多种复杂材料的原位分析需求。

主要用途

原位扫描电子显微分析系统除了具有普通扫描电镜对材料表面微观形貌的观察，微区元素分析以及晶体结构分析外，还可用于研究材料的原位拉伸，高温实验中微观组织结构的变化，以及变化过程中元素及晶体结构的变化情况。

项目介绍

设备参数/指标

l 电镜分辨率：0.7 nm @15 kV （SE）

l 0.6 nm @1 kV(Inlens)

l 放大倍率：12-2,000,000×

l 探针电流：不小于20 nA；束流稳定性优于0.2% /h

l 加速电压：0.02 kV ～ 30 kV，连续10V可调

l 样品台：X ≥ 130 mm，Y ≥ 130 mm，Z ≥ 50 mm，

l -4~70°（倾斜），360°（旋转）

l 真空度：电子枪：优于10-7 Pa

l 样品室：优于2.7×10-4 Pa

l 样品台倾转角度：-10°~60°

功能配置

l 样品室内二次电子探测器

l 样品室内背散射电子探测器

l 镜筒内Inlens二次电子探测器

l 镜筒内能量选择背散射探测器

l 能谱仪EDS

l 电子背散射衍射仪EBSD

l 原位台（加热、拉伸、剪切、弯曲）