工作原理

6JA采用迈克尔逊干涉结构，光源发出的光束经分光镜分为参考光束与测量光束。参考光束通过固定反射镜返回，测量光束照射样品后反射，两束光在分光镜处汇合产生干涉。通过调节物镜与样品距离，观察干涉条纹变化，结合相位检测或频域分析技术，将干涉信号转换为表面高度数据，实现纳米级形貌测量。

应用范围

适用于半导体行业（如晶圆表面平整度检测、薄膜厚度测量）、精密机械（如轴承表面粗糙度分析、光学元件波前检测）、材料科学（如纳米材料形貌表征、涂层均匀性检验）及科研实验（如表面等离子体共振研究）。广泛服务于芯片制造厂、质检中心及高校实验室，助力工艺优化与质量控制。

产品技术参数

测量原理：迈克尔逊干涉法

光源：He-Ne激光器（波长632.8nm，功率2mW）

放大倍数：10×（物镜）与10×（目镜），总放大倍数100×

测量范围：垂直方向0-100μm，水平方向10mm×10mm

分辨率：垂直方向0.1nm（RMS），水平方向0.5μm

扫描方式：压电陶瓷驱动（步进精度1nm）

数据接口：USB 3.0（支持实时图像传输与软件分析）

仪器尺寸：450×320×600mm，净重25kg

电源：AC 220V/50Hz（功耗≤150W）

产品特点

纳米级测量精度：垂直分辨率达0.1nm，适配半导体晶圆、光学元件等高精度检测需求。

非接触式无损检测：避免接触式测量对样品的损伤，尤其适配软质材料或薄膜样本。

实时干涉成像：通过CCD相机实时捕捉干涉条纹，结合软件算法快速生成三维形貌图。

模块化扩展：支持相位检测、频域分析等多种模式，适配不同表面特性研究需求。

稳定与耐用：金属机身结构稳固，激光光源寿命长（≥10000小时），适应工业与实验室环境。