设备介绍

卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD)，并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中，如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分，整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。 收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样。

产品优势

样品速度稳定

收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样

成品质量好

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

更好的沉积效率

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

技术参数

产品名称 卷对卷PECVD系统

产品型号 KJ-T1200-JCY

1200℃双温区管式炉

加热温区 双温区 200mm+200mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

工作温度 ≤1200℃

控温精度 ±1℃

控温方式 AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条

炉管材质 高纯石英

炉管尺寸 φ80mm x 1400mm L(其他尺寸可根据客户需求定制)

密封方式 不锈钢真空法兰

工作气体 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体

真空泵 旋片式真空泵

极限真空度 10^-1Pa

三路质量流量计

工作气体 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体

真空泵 旋片式真空泵

极限真空度 10^-1Pa

三路质量流量计 阀门类型 不锈钢针阀

气路数量 三路

承压范围 0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM(Ar)

1~200 SCCM(H2)

1~500 SCCM (CH4)

流量控制范围 ±1.5%

S射频电源

输出功率 500W

输出精度 ±1%

射频频率 13.56MHz

射频稳定度 ±0.005%

冷却方式 风冷