设备介绍

KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高温真空CVD设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ，最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合，可以对多种气体进行准确的混气，然后导入到管式炉内部。炉管两端安装真空法兰，可以通过选配真空泵组来实现更高的真空度。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端，是低成本快速热处理的理想炉子。

产品优势

双层内胆炉壳，配有风冷系统，快速升降温

整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度很高，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉

多晶纤维炉膛，节能耐腐蚀

重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好，能满足何种快速烧结的要求

微电脑PID控制器，操作简便

操作简便，控温准确、可靠、安全多段可编程控制，可以简化复杂的试验过程，真正实现自动控制和运行

技术参数

结构 采用双层壳体结构，并带有风冷，用于江堤壳体表面温度

加热元件 电阻丝

工作温度 ≤1100°C

最高温度 1200°C

最大升温速率 建议10°C/min

加热区长度 400mm (其他尺寸可根据客户需求定制)

温控系统 一个精密温度控制器 PID方式控制，通过可控硅 SCR可设置30段升降温程序。

控温精度 +/-1°C

炉管材质和尺寸 石英管 内径: 72mm x 外径: 80 mm x 长度:1000 mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

密封法兰 两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr，泄漏率最大6 mtorr/min

真空泵 真空泵：一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr

气体流量计

4个浮子流量计，可同时混入4种不同气体。

四通道控制 精度0.02% 、数字显示、自动控制