设备介绍

KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。配有三路质量流量计混气气路，配有真空泵真空可达10pa，准确的PID程序多段程序控温，本系列高温CVD设备适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。

产品优势

PID多段程序控温

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

高纯石英炉管

炉管采用高纯石英材质，耐高温耐酸碱腐蚀，透明材质方便观察样品反应情况

加热效率高

加热元件采用含钼合金加热丝，加热速率快，耐高温、抗氧化耐腐蚀

技术参数

型号 KJ-T1200-S50-3Z

炉管直径 Φ50mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热区 200mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

温度温度 最高1200℃，工作温度≤1100℃

加热速率 建议≤10℃/min

控温精度 ±1℃

加热元件 含钼电阻丝

控制方式 PID智能化多段程序控温

炉管材质 石英管

气路系统

三路质量流量计：手动智能控制，数字显示，;

1.MFC 1-MFC3：0-500sccm可调

2.3个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制3种气体;

3.进出气口：3进1出

真空系统 真空泵，抽速2.2L/S，真空度可达10pa，真空度数显示在数显真空计上

注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉管破裂，法兰飞出等)

质保 质保一年，终身保修(耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)