工作原理

FSM-PRECISION采用光杠杆式原子力显微技术，通过微悬臂探针扫描样品表面。当探针针尖与样品接近时，原子间作用力导致悬臂弯曲，激光照射悬臂背面并反射至光电探测器，通过检测激光位移变化获取表面形貌数据。设备支持接触模式、轻敲模式及力学曲线测量，可适配不同样品特性与检测需求。

应用范围

该设备广泛适用于半导体、材料科学、生物医学及精密制造等领域，主要用于：芯片表面缺陷检测与薄膜厚度测量；金属、陶瓷、高分子材料的纳米级形貌分析；生物样本（如细胞、DNA）的表面结构观察；以及纳米材料研发、摩擦学研究及工业产品表面质量控制。

产品技术参数

最大扫描范围：XY轴100μm×100μm，Z轴10μm

XY轴分辨率：0.1nm（纳米级）

Z轴噪声水平：<0.05nm

扫描速度：0.1-30Hz（可调）

探针类型：氮化硅/金属镀层探针（可选）

工作环境：温度15-35℃，湿度<70%RH

外形尺寸：600×500×700mm

电源：AC220V±10%, 50Hz

产品特点

高稳定性设计：采用工业级抗震框架与温控系统，适配生产线环境。

智能化操作：内置自动调平、焦点追踪及数据分析软件，支持一键式扫描。

多功能扩展：可选配导电探针、高温样品台及液体环境检测模块。

高精度成像：亚纳米级分辨率，可清晰捕捉表面缺陷与纳米结构。

用户友好界面：10.1英寸触控屏操作，数据可导出为3D图像、轮廓曲线及统计报告。