工作原理
RM100 采用高精度电感式位移传感器驱动金刚石触针(针尖半径 2μm),以恒定速度沿被测表面横向移动。触针随表面微观起伏产生垂直位移,传感器将位移信号转换为电信号,经高分辨率 A/D 转换后传输至计算机。专用分析软件对数据进行滤波处理,去除波纹度干扰,提取表面粗糙度参数(如 Ra、Rz)及轮廓曲线,同时支持三维形貌重建与几何尺寸测量(如角度、半径、台阶高度等)。
应用范围
该设备适用于金属、陶瓷、塑料及复合材料等工件的表面质量检测。典型应用场景包括:机械零部件加工后表面粗糙度验证、模具型腔轮廓精度分析、发动机叶片表面波纹度评估、光学元件平面度检测,以及电子芯片封装表面缺陷筛查等。其非破坏性测量方式可满足生产线在线抽检与实验室精密分析的双重需求。
技术参数
测量范围:X 轴 100mm,Z 轴 8mm
垂直分辨率:0.001μm
示值误差:≤±(5%+0.002)μm
测量速度:0.05-1mm/s(可调)
触针压力:0.4mN(可选 0.75mN、1.5mN)
滤波参数:符合 ISO 11562 标准,支持高斯、2RC 滤波
数据输出:支持 TXT、CSV、PDF 格式报告,兼容 CAD 软件
产品特点
高精度与稳定性:采用德国进口导轨与光栅尺,确保长期使用无磨损,重复测量精度≤0.1μm。
智能化分析:内置 20 余种国际标准(如 ISO、GB、ASME),可自动计算 Ra、Rz、Rq 等 30 余项参数。
人性化操作:7 寸彩色触摸屏与一键测量功能,支持多语言界面切换,降低操作门槛。
模块化设计:可选配激光测头或白光干涉模块,扩展至三维形貌测量,满足多元化检测需求。