工作原理

SPMI-200 采用高精度激光三角测量法，通过半导体激光器发射线性光束至被测表面，反射光经高分辨率 CMOS 传感器捕获后，由内置 DSP 芯片实时计算光斑位移量，结合 X 轴直线电机驱动的精密导轨（分辨率 0.01μm）与 Z 轴压电陶瓷微驱动系统（分辨率 0.001μm），实现表面轮廓的三维重建。设备支持动态扫描与静态单点测量双模式，扫描速度可达 5mm/s，采样点密度最高 1600 点/mm，可精准捕捉表面粗糙度、波纹度、台阶高度及轮廓曲率等参数。

应用范围

该设备适用于半导体晶圆表面缺陷检测、光学元件镀膜层厚度分析、MEMS 器件微结构形貌验证、生物芯片沟槽轮廓测量等领域。例如，可量化评估手机摄像头镜片表面的亚微米级划痕深度，或检测航空发动机叶片热障涂层的均匀性，为产品质量控制与工艺优化提供数据支撑。

技术参数

测量范围：X 轴 100mm，Y 轴 50mm，Z 轴 20mm

垂直分辨率：0.001μm

重复性：±0.002μm

线性精度：(1+L/200)μm（L 为测量长度，单位 mm）

激光波长：650nm（红光）

扫描速度：0.1-5mm/s 可调

软件功能：支持 ISO 25178、GB/T 3505 等标准，可输出 Ra、Rz、Sq、St 等 30 余项参数

产品特点

超精密测量：采用德国进口直线电机与纳米级光栅尺，确保运动平稳无振动；双区激光光源设计可适应高反光与哑光表面。

智能化分析：内置 AI 算法可自动识别表面缺陷类型，生成 3D 彩色形貌图与统计报告；支持 CAD 模型比对与公差标注。

人性化设计：全封闭防尘罩减少环境干扰；7 寸触摸屏与无线鼠标操作便捷；一键自动校准功能缩短准备时间。

扩展性强：可选配微距镜头、旋转工作台及真空吸附装置，兼容透明/半透明材料测量；支持 USB 3.0 与千兆网口数据传输。