设备介绍

定制流化床CVD系统，由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统组成。该系统以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。该立式CVD管式炉广泛应用于半导体工业中沉积薄膜材料，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

多段智能PID程序控温

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

优良的动密封系统

不锈钢金属法兰，带阀门和相关接口，拆装方便，可抽真空充保护气体至微正压

立式可开启结构

双层壳体立式可开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

技术参数

产品名称 流化床CVD系统

产品型号 KJ-CVD-DZ

立式管式炉部分

炉膛模式 立式开启式

炉膛材料 进口氧化铝耐火纤维

加热元件 优质硅碳棒

极限温度 1400℃

工作温度 ≤1300℃

升温速率 建议≤10℃/min

加热温区 单温区、多温区

温区总长度 200mm、300mm、440mm可选(其他尺寸可根据客户需求定制)

炉管材质 高纯石英管、刚玉管

炉管直径 40、50、60、80、100mm可选(其他尺寸可根据客户需求定制)

密封方式 304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)

控制模式 多段智能PID程序控温 预留通讯接口

控温精度 ±1℃

温度曲线 多段"时间—温度曲线"任意可设

测温元件 N型热电偶

气路系统部分

气体通道 可同时连接多种气源

流 量 计 质量流量计

A路量程 0～500SCCM

B路量程 0～500SCCM

C路量程 0～500SCCM

气路压力 -0.1～0.15 MPa

截止阀 不锈钢材质

气体连接管 1/4不锈钢管

数显真空计及连接件

数显真空计 数显真空计安装在不锈钢法兰上

真空泵组(相关连接配件)

真空泵 真空泵,及相应连接管件

售后服务

质保一年，终身保修(耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围)