简介： KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD(等离子体增强化学气相沉积)的管式炉系统，它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。