设备介绍

科佳KJ-1200T-V50是一款立式流化床CVD系统 ，专门针对粉末表面沉积的CVD实验，炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。炉管内部配置一0.2mm石英多孔板(孔径为客户订制，)粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量。

产品优势

立式可开启结构

双层壳体立式可开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

多段智能PID程序控温

控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步

优良的动密封系统

不锈钢金属法兰，带阀门和相关接口，拆装方便，可抽真空，同时连接2种气源至微正压

技术参数

产品型号 KJ-1200T-V50

加热区长度 400mm(其他尺寸可按客户需求定制)

炉管尺寸 直径50*900mm(其他尺寸可按客户需求定制)

炉管材质 高纯石英管内置0.2mm石英多孔板(订制)

工作温度 ≦1100℃

最高温度 1200℃

测温元件 N型热电偶测温

温控系统 智能化30段PID微电脑可编程自动控制并有自动整定功能

控温精度 ±1℃

温控保护 具有超温和断偶保护功能

升温速率 0-10℃/min

加热元件 合金电阻丝

炉膛材料 采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡

法兰 不锈钢真空法兰，拆卸方便

密封系统 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好

流化区域 1.反应气体均匀地通过反应区

2.固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内

3.炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。

注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量

壳体结构 双层壳体结构带风冷系统，开启式

炉体结构 立式结构

测量与控制装置

名称 二路质量流量计

流量控制 数字显示，每路气体含有针阀单独控制

链接方式 双卡套接头

流量计 质量流量计

混气 内含一个精密混气罐