工作原理

SSR300+采用电感式位移传感技术，通过金刚石触针以4mN恒定测力轻触被测表面，触针随表面微观起伏产生微米级位移，驱动内置高精密电感传感器实时捕捉位移信号。信号经DSP芯片进行数字滤波、参数计算及曲线拟合，直接输出Ra、Rz、Rq等16项粗糙度参数及轮廓曲线。其创新的无导头设计摒弃传统导轨结构，通过高刚性气浮轴承与闭环伺服控制系统实现触针的精准直线运动，消除导轨摩擦误差，确保0.025μm至0.100μm小值粗糙度的测量线性度误差≤±1.5%，平晶值重复性≤0.01μm。

应用范围

精密加工：检测轴承套圈、齿轮、液压阀体等零件的表面光洁度，评估磨削、抛光工艺质量；

汽车电子：验证发动机缸体、传感器外壳、连接器触点的耐磨性，确保接触可靠性；

航空航天：分析涡轮叶片、结构件的高温合金表面完整性，满足严苛的疲劳寿命要求；

半导体制造：测量晶圆、芯片载板的表面平整度，优化化学机械抛光（CMP）工艺。

技术参数

测量范围：Ra 0.005-16μm，Rz 0.02-160μm；

分辨率：0.001μm（±20μm量程）；

取样长度：0.25mm、0.8mm、2.5mm可选；

驱动速度：0.135-1mm/s（自动匹配取样长度）；

滤波方式：RC、PC-RC、GAUSS、D-P四种国际标准滤波器；

兼容标准：ISO、DIN、ANSI、JIS四大国际规范。

产品特点

无导头创新设计：消除导轨摩擦干扰，小值粗糙度测量稳定性提升30%；

高精度传感器：采用500um大量程电感传感器，支持划痕深度同步检测；

智能化操作：7英寸彩色触摸屏实时显示参数与轮廓图形，支持USB数据导出及打印机直连；

模块化扩展：可选配波纹度测量模块、支承率曲线分析软件，实现“一机多用”。