工作原理

设备基于电子束与样品相互作用原理：肖特基场发射电子源产生高亮度、低能散的电子束，经电磁透镜聚焦后扫描样品表面。电子束与样品原子碰撞产生二次电子（SE）、背散射电子（BSE）及特征X射线等信号。SE探测器捕捉表面形貌信息，BSE探测器反映成分对比度，EDS（能谱仪）通过X射线能量分析实现元素定性定量检测，最终合成高分辨率图像与成分数据。

应用范围

适用于材料科学（纳米材料形貌观察）、半导体行业（芯片缺陷分析与工艺优化）、生物医学（细胞/组织超微结构解析）、地质学（矿物晶体结构表征）及质检领域（失效分析）。尤其适合需要满足ASTM E986、ISO 15901等标准的场景，助力科研突破与产品质量控制。

产品技术参数

电子源：肖特基场发射枪（Schottky型），束流稳定性≤0.1%/h

分辨率：1.0 nm（15 kV，SE模式），1.5 nm（1 kV，SE模式）

加速电压：0.5~30 kV（连续可调）

放大倍数：20×~1,000,000×

探测器：SE/BSE双探测器、EDS能谱仪（可选）

样品台：五轴自动样品台（X/Y/Z/旋转/倾斜，移动范围≥50mm）

真空系统：三级真空（高真空≤1×10⁻⁴ Pa，低真空适配导电/非导电样品）

尺寸/重量：主机1800×1200×1500mm / 2000kg（含控制柜）

产品特点

肖特基发射源与超高分辨率：Schottky型场发射枪提供高亮度电子束，1.0 nm分辨率可清晰解析纳米材料细节（如量子点、碳纳米管），1 kV低压模式下仍保持1.5 nm分辨率，适配生物样品无损伤观察。

多模式与成分分析：集成SE/BSE成像与EDS能谱检测，支持形貌-成分关联分析；可选配EBSD（电子背散射衍射）模块，解析晶体取向与相分布，满足材料科学全维度表征需求。

智能化操作：全自动样品台与参数优化功能，支持一键式成像与数据分析；国仪量子自主开发的SEM软件集成三维重构、大数据处理与AI图像识别模块，提升研究效率。

耐用与低维护设计：肖特基发射枪寿命≥3000小时，真空系统采用无油涡轮分子泵，降低维护频率；防振动设计适应实验室环境，确保长期运行稳定性。

合规与扩展性：符合CE、RoHS及中国计量认证（CMA）要求，检测报告具备法律效力；支持与FIB（聚焦离子束）系统联用，实现“观察-加工”一体化，适配前沿材料研究需求。