热场式场发射扫描电镜
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热场式场发射扫描电镜
来源:英铂科学仪器(上海)有限公司
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简介: 日立SU5000是一款高性能热场式场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),专为纳米级材料表征与高分辨率成像设计,采用热场发射电子源与多信号检测技术,可实现样品表面形貌、成分及晶体结构的深度分析,广泛应用于材料科学、半导体、生物医学及地质研究领域,是科研机构与企业研发部门的核心分析工具。
产品详细

 日立


工作原理

设备基于电子束与样品相互作用原理:热场发射电子源产生高亮度、低能散的电子束,经电磁透镜聚焦后扫描样品表面。电子束与样品原子碰撞产生二次电子(SE)、背散射电子(BSE)及特征X射线等信号。SE探测器捕捉表面形貌信息,BSE探测器反映成分对比度,EDS(能谱仪)通过X射线能量分析实现元素定性定量检测,最终合成高分辨率图像与成分数据。



应用范围

适用于材料科学(纳米材料形貌观察)、半导体行业(芯片缺陷分析与工艺优化)、生物医学(细胞/组织超微结构解析)、地质学(矿物晶体结构表征)及质检领域(失效分析)。尤其适合需要满足ASTM E986、ISO 15901等标准的场景,助力科研突破与产品质量控制。



产品技术参数


电子源:热场发射枪(Schottky型),束流稳定性≤0.1%/h

分辨率:1.0 nm(15 kV,SE模式),2.0 nm(1 kV,SE模式)

加速电压:0.5~30 kV(连续可调)

放大倍数:20×~1,000,000×

探测器:SE/BSE双探测器、EDS能谱仪(可选)

样品台:五轴自动样品台(X/Y/Z/旋转/倾斜,移动范围≥50mm)

真空系统:三级真空(高真空≤1×10⁻⁴ Pa,低真空适配导电/非导电样品)

尺寸/重量:主机1800×1200×1500mm / 2000kg(含控制柜)


产品特点


热场发射源与高分辨率:Schottky型热场发射枪提供高亮度电子束,1.0 nm分辨率可清晰解析纳米材料细节(如量子点、碳纳米管)。

多模式与成分分析:集成SE/BSE成像与EDS能谱检测,支持形貌-成分关联分析;可选配EBSD(电子背散射衍射)模块,解析晶体取向与相分布。

低电压成像能力:1 kV低压模式下仍保持2.0 nm分辨率,适配生物样品(如细胞膜结构)与柔性材料(如高分子薄膜)的无损伤观察。

智能化操作:全自动样品台与参数优化功能,支持一键式成像与数据分析;日立Map软件集成三维重构与大数据处理模块,提升研究效率。

耐用与低维护设计:热场发射枪寿命≥3000小时,真空系统采用无油涡轮分子泵,降低维护频率;防振动设计适应实验室环境。

合规与扩展性:符合CE、RoHS及中国计量认证(CMA)要求,检测报告具备法律效力;支持与FIB(聚焦离子束)系统联用,实现“观察-加工”一体化。

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标签:热场式场发射扫描电镜,物理检测设备
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