工作原理

NHT³采用先进的压电陶瓷驱动系统与闭环反馈控制技术，通过金刚石压头（如Berkovich或圆锥形）以高速（最高10mm/s）压入样品表面，同时实时采集载荷-位移曲线。基于Oliver-Pharr算法，仪器自动计算材料的硬度（H）和弹性模量（E），并支持动态载荷模式分析蠕变或应力松弛行为。其独特的“快速映射”功能可预设多位置测试点，通过自动化XYZ位移平台实现无人值守的批量测试，单次测试周期缩短至秒级，大幅提高数据产出效率。

应用范围

覆盖微电子、新能源、生物医学、航空航天及先进制造等领域。在微电子行业，用于快速评估集成电路互连层、封装材料及柔性显示屏基板的力学均匀性；新能源领域分析锂电池电极涂层、固态电解质膜的批次一致性；生物医学领域测试医用植入物表面涂层（如羟基磷灰石）的耐磨性分布；航空航天领域研究涡轮叶片热障涂层、碳纤维复合材料的界面结合强度差异；先进制造领域可优化刀具涂层、模具表面处理的工艺参数，缩短研发周期。

技术参数

载荷范围0.1mN-1N，分辨率0.1μN；位移范围0-20μm，分辨率0.01nm；最大测试速度10mm/s；XYZ位移平台行程50mm×50mm×20mm，定位精度±0.5μm；支持多达1000个测试点的自动映射；数据采集频率≥100kHz，兼容力、位移、时间三通道同步采集；设备尺寸紧凑（600mm×600mm×800mm），适配实验室或生产线环境。

产品特点

秒级测试周期与千点级自动映射功能，实现高吞吐量材料表征；亚纳米级位移精度与微牛级载荷分辨率，确保数据可靠性；模块化设计支持快速更换压头及扩展环境控制模块（如加热、真空）；用户友好型软件集成智能路径规划、实时数据监控及多格式报告生成功能，降低操作复杂度。NHT³以“高效、精准、智能”为核心优势，重新定义了纳米压痕测试的效率标准。