工作原理

UNHT³ HTV采用Berkovich或圆锥压头，在样品表面施加预设载荷（0.1mN-30N可调），同时通过高精度压电陶瓷驱动压头以恒定速率压入样品，实时记录载荷-位移曲线。测试过程中，仪器基于Oliver-Pharr理论自动计算硬度（H）与弹性模量（E），并通过闭环控制系统确保压头位移精度达亚纳米级。此外，仪器支持动态力学测试（如蠕变、松弛），可分析材料在长时间载荷下的变形行为，结合加热模块（最高200℃）还能研究温度对力学性能的影响。

应用范围

覆盖微电子、新能源、生物医学、航空航天及先进制造等领域。微电子行业用于评估集成电路互连层、柔性显示屏基板的硬度与弹性；新能源领域分析锂电池电极材料、固态电解质膜的力学稳定性；生物医学领域测试医用植入物表面涂层（如羟基磷灰石）的耐磨性；航空航天领域研究涡轮叶片热障涂层、碳纤维复合材料的界面结合强度；先进制造领域可优化刀具涂层、模具表面处理的工艺参数。

技术参数

载荷范围0.1mN-30N，分辨率0.1μN；位移范围0-200μm，分辨率0.001nm；加热模块温度范围室温-200℃，控温精度±0.1℃；压头类型Berkovich/圆锥可选；数据采集频率≥100kHz，支持载荷、位移、时间三通道同步采集；测试环境控制支持真空或惰性气体氛围，适配敏感材料测试需求。

产品特点

亚纳米级位移精度与超宽载荷范围，满足从超薄薄膜到块体材料的测试需求；闭环控制系统与动态力学测试功能，实现高精度与多功能一体化；集成加热模块与环境控制，支持温度依赖性力学性能研究；用户友好型软件提供自动化测试流程、智能数据后处理及定制化报告生成功能，显著提升测试效率与结果可靠性。UNHT³ HTV以“精准、灵活、专业”为核心优势，成为纳米力学性能研究的标杆仪器。