工作原理

MHT³采用金刚石压头（锥角120°或140°可选）在样品表面施加垂直载荷（0.1μN-300mN可调），并通过高精度压电陶瓷驱动压头沿预设路径（直线、曲线或往复运动）划动，划痕长度范围0.1μm-50mm。测试过程中，集成式传感器实时采集划痕力（法向力与切向力）、压头位移及声发射信号，结合高分辨率光学显微镜（可选配原子力显微镜AFM模块）观察划痕形貌，通过专用软件（MHT³ Analyzer）计算临界载荷（Lc）、摩擦系数、涂层结合强度等参数，实现划痕过程的全动态监测与力学机制解析。

应用范围

覆盖微电子、新能源、生物医学、航空航天及先进制造等领域。微电子行业用于评估集成电路封装材料、柔性显示屏基板的耐刮擦性；新能源领域分析锂电池电极涂层、燃料电池催化剂层的附着力；生物医学领域测试医用植入物表面涂层（如钛合金氧化层）的耐磨性；航空航天领域研究涡轮叶片热障涂层、复合材料结构的界面结合强度；先进制造领域可优化刀具涂层、模具表面处理的工艺参数。

技术参数

垂直载荷范围0.1μN-300mN，分辨率0.1μN；水平位移范围0.1μm-50mm，速度0.01μm/s-10mm/s；压头锥角120°/140°可选；光学系统分辨率≤0.1μm（标准配置），AFM模块可达纳米级三维形貌重建；测试环境控制支持温度（-20℃至200℃）及湿度调节；数据采集频率≥50kHz，支持力、位移、声发射、形貌四通道同步采集。

产品特点

超宽载荷范围（0.1μN-300mN）与纳米级位移精度，满足从超薄薄膜到厚涂层的测试需求；多参数同步检测与原位形貌观察，实现划痕机制的全维度解析；模块化设计支持快速更换压头、夹具及环境控制模块，适配不同材料与测试条件；用户友好型软件提供自动化测试流程、智能数据后处理及定制化报告生成功能，显著提升测试效率与结果可靠性。MHT³以“高精度、多功能、易扩展”为核心优势，成为微纳尺度材料力学性能研究的标杆仪器。