工作原理：

该仪器采用高刚性框架结构与柔性铰链传动系统，通过压电陶瓷驱动器实现超精密位移加载，结合高灵敏度应变片式力传感器实时采集载荷数据。测试过程中，激光干涉位移传感器以纳米级分辨率监测试样变形，数据经高速同步采集系统处理后，生成应力-应变曲线及弹性模量、屈服强度等关键参数，全程由全数字闭环控制系统确保加载稳定性与数据准确性。

应用范围：

适用于薄膜、纤维、涂层、MEMS器件、微纳电子元件、生物组织等微小试样的拉伸、压缩及三点弯曲测试，可完成材料弹性模量、断裂强度、疲劳寿命等性能评估，尤其满足半导体封装、柔性电子、医疗器械等行业对微尺度力学性能的严苛测试需求。

产品技术参数：

最大载荷：5000mN（可扩展至10N）；力值分辨率：0.01mN；位移范围：0~10mm；位移分辨率：0.1nm；测试速度：0.001~500mm/min；温度控制范围：-20℃~150℃（选配）；试样尺寸：最小可测0.1mm×0.1mm；数据采样频率：50kHz。

产品特点：

超精密传动系统实现纳米级位移控制；非接触式激光测量避免机械干扰；模块化夹具设计兼容多种微小试样；集成式环境控制箱支持温湿度调节；专用分析软件支持自定义测试协议与多参数联动控制，操作界面直观且支持中英文切换；开放式架构便于与显微镜、SEM等设备联用，为用户提供一站式微尺度力学测试解决方案。