高精度微纳米压痕仪
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高精度微纳米压痕仪
来源:上海纳腾仪器有限公司
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简介: KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器, iMicro微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解,以及具有良好灵敏度的三片式电容传感器的设计,保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高分辨的控制。1000mN载荷范围,6nN加载精度,0.04nm位移精度。
产品详细

iMicro高精度微纳米压痕仪

iMicro高精度微纳米压痕仪


KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器, iMicro微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解,以及具有良好灵敏度的三片式电容传感器的设计,保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高分辨的控制。1000mN载荷范围,6nN加载精度,0.04nm位移精度。

• 快速准确的动态纳米压痕测试

• 电磁加载方式

• 快速准确的位移测量

• 超高框架刚度

• 热漂移 <0.05nm/s

主要功能

静态/动态纳米压痕:杨氏模量/硬度

连续刚度:高准度薄膜测试,杨氏模量/硬度,<100nm

DMA功能:橡胶等粘弹性材料存储模量/损耗系数

划痕测试

高温纳米压痕300℃

断裂韧性测试

横向加载,泊松比测试

3D/4D 杨氏模量/硬度mapping

技术特点

•电磁制动器适用于包括IMicro在内的纳米力学公司生产的所有系统

•这些执行器是一种坚固的线性装置,具有固定的解耦力和位移。大的力为1N,分辨率为6nN,低噪音<200nN。

•IMicro的时间常数为20us,是一种能满足规格要求,大压痕为80um噪声小于0.1nm,数字分辨率为0.04nm,漂移率<0.05nm/s

•IMicro包括InView软件,它提供非常强大和直观的实验脚本平台,可以用于设计新颖的实验。有经验的用户可以使用IMicro进行几乎所有小规模的机械测试。

•样品台移动Z轴为25 mm,X为100 mm,Y轴为150 mm,可测试各种样品高度和大样品区。

•载荷刚度>3,500,000N/m

•特的TiP-calibration系统集成到软件中,可以快速、准确、自动的对尖端进行校准。可选择NanoBlitz地形和断层扫描软件来执行

•更高的负载和更广泛的应用使IMicro成为世界上研究实验室的选择

•允许进行广泛的测试,包括但不限于特定频率的实验、存储和损失模量、模量和硬度(Oliver和Pharr)和恒定应变率。

•多功能执行机构可用于测试多种材料,从超软凝胶到硬涂层。

•可用的划痕选项,大负载为50mN,大划痕偏差为2.5mm,大划痕速度为500um/s。

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标签:高精度微纳米压痕仪,微纳米压痕仪,检测设备
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