微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统，微波发生器产生的微波用波导管传输至反应器，并向反应器中通入不同气体构成的混合气体，高强度微波能激发分解基片上方的含碳气体形成活性含碳基团和原子态氢，并形成等离子体，从而在基片上沉积得到金刚石薄膜。

Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统，是实现高质量金刚石晶体生长、高纯度晶体薄膜沉积、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于金刚石晶体生长、原料沉积、晶体热处理领域。

以金刚石为代表的宽禁带半导体材料在微电子、电力电子和半导体照明器件等领域有着重要的应用和广阔的市场前景。同时它还以其优异的物理和化学性能在国防、航空、航天、石油勘探、光存储、传感器窗口、显示等领域有着重要应用前景，市场潜力巨大。金刚石器件己从高价时代的航天、航空、雷达、核能开发等领域，扩展至石油和地热钻井勘探、变频空调、平板电视、混合动力汽车和电动汽车以及太阳能光电变换等民用领域。