简介： 内应力检测仪（型号：SV）是一款用于测量化合物晶圆内应力分布及缺陷筛查的设备。它基于双折射应力测量模型，能够实现应力的瞬时测量，并以二维分布伪彩图的形式显示结果。设备采用双远心检测光路，确保相位延迟测量的高精度，并提供多种镜头选择以满足不同的测量视场需求。此外，设备还配备定制化的样品托盘，便于批量测试不同规格的晶圆。