设备介绍

炉膛分为三个独立单元，均可独立控温，控温系统选用10英寸工控触摸屏，可设置5个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃，数据实时显示和记录，并能通过U盘导出csv表格形式。可提前在触摸屏系统内设定好温度曲线、衬底移动的条件和时间、炉膛打开散热的条件等整个工艺流程参数，装好样品后，关上法兰。通过一键操作，设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能。进气阀和流量的控制、真空泵和真空度的控制均可在触摸屏上直接操作，触摸屏界面模拟显示动作过程。亦可实现半自动功能，由人工分步骤操作设备自动运行。

产品优势

自动控制流程

可提前在触摸屏系统内设定好整个工艺流程参数，通过一键操作，设备可自动完成三个温区的加热和样品移动等所有功能

智能控温系统

控温系统选用10英寸工控触摸屏，可设置5个控温段落，升温降温均可设置程序控制，控温精度±1℃

风冷散热系统

加热结束后炉膛均可通过按钮控制前后自动分开成两半，管子暴露在室温环境下，底部风扇强制风冷对其散热

超温报警功能

具有自动连续PID调节、超温报警、断偶指示等功能

数据可存储导出

数据实时显示和记录，并能通过U盘导出csv表格形式，数据可存储三个月

可抽真空通气氛

抽真空度大气到≤5Pa小于5min，设定真空度自动保持，可通多种气氛

技术参数

加热炉部分

炉膛模式 前后移动开启式炉膛(三个工艺炉膛)

显示模式 10英寸触摸屏

加热元件 短红外波灯管，上下水平面独立加热

工作温度 ≤800℃

升温速率 5～10℃/s

衬底移动 有，速度可调

温区长度 200mm(恒温区100*100mm) (更多尺寸可根据客户需求定制)

快速降温 ≥1℃/S

炉管规格 Φ150*1400mm (更多尺寸可根据客户需求定制)

控温精度 ±1℃

密封方式 快速法兰密封

超温报警 有

过流保护 有

断偶提示 有

测温元件 N型热电偶

炉膛材料 氧化铝纤维

传动机构

样品移动 伺服电机驱动推杆带动衬底移动

运行轨道 石英管内设计有双层轨道

推杆移动速度 可调

导轨水平度 ≤1mm/m

推杆定位误差 ≤1mm

防撞措施 超力矩自动急停，脱钩

蒸发距离 衬底下平面和源上平面间距最小2mm,且可根据需要调节

速度误差 ≤0.5%

真空与气氛

抽真空能力 大气到≤5Pa小于5min，设定真空度自动保持

气压范围 10-3Pa～105Pa，机械泵极限≤5Pa

气路系统

3路进气

不锈钢混合罐(带指针式压力表)

超压保护(≥1atm)，根据设定压力值自动排气

控制系统

半自动运行 手动按钮，电动运行

全自动运行 显示整个工艺流程且一键操作

温度数据存储 可存储数据

数据导出 U盘导出csv格式数据

工艺曲线 设备端触摸屏显示实时曲线并记录