设备介绍

KJ-1200T-S6015LK1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/min，是低成本快速热处理的理想炉子。

适用范围

退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉， 是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计，计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。可在真空不同气氛空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

产品优势

双层壳体 安全防烫

节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温

炉管材质可选

炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料

可快速加热和冷却

炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m

红外灯管加热 升温速率快

采用红外灯管加热，最快升温速度为 50°C/秒

气密性好 可重复拆卸

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封，可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转

智能控温 带安全预警

30段PID微电脑可编程自动控制，具有超温和断偶保护功能

技术参数

产品名称 单管滑动式快速退火炉

产品型号 KJ-1200T-S6015LK1-H

炉管尺寸

Φ60mmX1500mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

温区长度

440mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

工作温度

≤1100℃

最高温度

1200℃

温控系统

30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

控温精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

加热速率

0~10℃/min

加热元件

电阻丝

气 密 性 4.03×10-3Pa

炉膛材料

采用日本进口炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强

滑轨尺寸 镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度：1200mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀。

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

炉 管 可选气炼石英炉管、刚玉炉管

测温元件

N型热电偶测温

售后服务 12个月质保、终身保修