工作原理：

基于质谱分析与氦气示踪技术：设备通过真空泵组将待测腔体抽至高真空（≤1×10⁻³Pa），随后向腔体或疑似泄漏区域喷洒氦气（分子量4），泄漏的氦气经质谱室离子源电离为He⁺，在磁场作用下按质荷比分离并由电子倍增器检测，通过离子流强度与校准曲线换算得到泄漏率，最小可检泄漏率达5×10⁻¹² Pa·m³/s（氦气），相当于1μm孔径的微漏。

应用范围：

适用于各类真空系统及密封组件的泄漏检测，包括航天器推进舱焊缝气密性验证、半导体晶圆加工设备真空腔体检测、汽车空调压缩机阀体微漏筛查、锂电池电芯封装密封性复检，以及核电阀门密封面泄漏定位。

产品技术参数：

检测灵敏度：5×10⁻¹² Pa·m³/s（氦气），响应时间≤1秒

极限真空度：≤5×10⁻⁶ Pa（分子泵启动后）

抽速性能：前级泵抽速8m³/h，分子泵抽速150L/s

检测范围：5×10⁻¹² - 5×10⁻³ Pa·m³/s（氦气），支持泄漏率单位切换

显示与控制：7英寸触摸屏（分辨率800×480），中英文菜单，支持USB/RS232数据导出

电源与环境：AC 220V±10%，50Hz，功耗≤800W，工作温度5℃-40℃

设备尺寸：主机500mm×400mm×900mm，重量≤45kg

接口配置：标准KF25真空接口，可选配VCR/CF法兰适配器

产品特点：

高灵敏度与快速响应：采用四级质谱分析与数字锁相放大技术，抗干扰能力提升50%，误报率≤0.1%。

双模式检测：支持吸枪模式（局部喷氦）与真空模式（腔体抽真空），适配不同检测场景。

智能化操作：内置泄漏率数据库与自动校准功能，一键生成检测报告并标注泄漏位置。

便携耐用设计：一体化机箱与防震支架，适应车间振动环境，支持12小时连续运行。

低维护成本：分子泵寿命≥20000小时，免维护离子源设计，耗材更换周期延长至5000小时。