纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统
纳米颗粒和薄膜的模块化PVD系统 是一种多功能的 PVD 系统，能够生成纳米颗粒和薄膜，非常适合工业和学术研究。NL-FLEX 能够容纳任何类型的基材，包括卷对卷、非平面和粉末涂料。服务于广泛的应用，包括催化、光子学、
储能、传感器和生命科学。这种模块化 PVD 沉积系统可以与分析工具集成，为您的研究需求提供完全定制的解决方案。
主要特点
通过结合纳米颗粒和薄膜生成复杂材料
使用 NL-UHV 的无烃纳米颗粒
宽敞且易于访问的腔室，非常适合精密和复杂的基材
向上或向下的源配置
与第三方来源兼容
使用旋转、加热和偏置选项对 3D 对象进行涂层
全自动和配方驱动的软件
基本系统配置
沉积室的大小 : 450 x 450 x 450 毫米
基础压力 : < 5e– 7托
取向 : 溅射
示例表 : 4 英寸晶圆，20rpm 旋转
泵: 700 升/秒涡轮增压器，7.2 米3/hr 干式前级泵
阀: 手动阀、百叶窗和线性驱动器
控制软件 : 配方驱动过程、电源控制和数据记录
原位监测 : 用于过程监控和终点检测的石英晶体微量天平
源端口 : 多达 6 个沉积源
源类型: 纳米粒子源、磁控溅射源、迷你电子束蒸发器、热舟源K 池、离子源、射频原子源
选项
可拆卸的沉积屏蔽层
朝上的源几何体
样品台：
– 用于纳米粒子加速的直流偏压
– 用于样品表面清洁的射频偏置
– 加热至 800°C
阀门、百叶窗和线性驱动器的自动化选项
涡轮前方的可调节挡板，以增加动态压力范围，以便在较低气体流量下进行溅射
带传输臂的单独泵送负载锁
控制软件
Spectrum Software Brochure
直观的“拖放”用户界面易于使用，并允许完全自动化的抽真空和沉积序列。
特征：
⇒全自动抽空和排气
⇒ 配置虚拟机架以适合您的流程
⇒ 易于添加和删除设备
⇒ 实时图表
⇒ 连锁监控
⇒ 配方控制
⇒ 数据记录功能
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京公网安备 11010702002294号
