简介： 电子探针X射线显微分析仪，又名微区X射线谱分析仪。可对试样进行微小区域成分分析。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后 的元素以外都可进行定性和定量分析。电子探针的大批量是利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针，激发试样中某一微小区域，使其发出特征X射线，测定该X射线的波长和强度，即可对该微区的元素作定性或定量分析。。可以进行点、线扫描（得到成分分布信息）、面扫描（得到成分面分布图像）。相对EDS，检测限更低，有标测试，对于轻元素、微量元素测试精度更高。