工作原理：

基于氦气分子在真空中的扩散特性：通过向被检工件充入氦气，利用分子泵与机械泵构建的真空系统将泄漏的氦气吸入质谱室，氦离子在180°非均匀磁场中实现精确分离，经美国AD放大器增强信号后，通过光电倍增管转化为可量化的漏率数据。

应用范围：

该设备广泛应用于航空航天、半导体制造、核电及科研领域。

产品技术参数：

设备漏率显示范围覆盖1×10⁻³至1×10⁻¹²Pa·m³/s，响应时间≤0.5秒，启动时间≤3分钟，检漏口最高耐压达1500Pa。配备德国进口分子泵与3L/s抽速机械泵，极限压强可达5×10⁻⁴Pa。设备采用550×450×880mm标准机箱设计，重量60kg，支持220V/50Hz电源输入，工作温度范围5-45℃。

产品特点：

1. 搭载台达7英寸全液晶触摸彩屏，支持中英文界面切换；

2. 内置自动校准程序与标准漏孔，检测精度误差≤±5%；

3. 离子源灯丝提供3年质保，整机故障率低于0.3%；

4. 支持USB/RS232数据传输，可生成符合ASTM E498标准的检测报告。