离子碳氮共渗炉有脉冲电气控制系统、真空炉体、外辅助加热系统、碳氮共渗配气系统、真空测量及控制系统等几大部分组成，离子碳氮共渗炉的直径和高度可根据工件的尺寸进行设计。

离子碳氮共渗炉工作工艺简介：

离子碳氮共渗是在真空容器中，通入含碳、氮气体，利用工件(阴较)和阳较间产生的辉光放电同时渗入碳和氮，并以渗碳为主的化学热处理工艺。

离子碳氮共渗是近几年国外兴起的新的离子化学热处理新工艺，国外称PLASOX技术或IONITOX技术。它是在离子氮碳共渗硬化处理的基础上，再进行一 次离子氧化处理，在白亮化合物层表面形成一层黑色致密的Fe3O4膜。经Ion(NC+O)复合处理后，既提高了钢表面的硬度和耐磨性，又提高了钢表面的 耐腐蚀性能。被处理的工件表面的耐腐蚀性能可以过镀硬鉻处理的，并解决了盐浴氮碳共渗+抛光+氧化处理(PQP技术)对环境污染的问题。