HC-VS330G是烟台华创基于多年从事真空回流炉设备设计、制造、工艺和服务经验,隆重推出的一款专用于真空封装的高真空系统。HC-VS330G可以满足MEMS器件如陀螺仪、加速度传感器和红外传感器等在高真空条件下的密封焊接要求,同时实现吸气剂在高真空环境下的热激活和电激活。本系统可以用于科学研究,也可以用于器件的批量生产。
技术参数
技术优势
1、本设备基于本公司已经过市场验证的稳定可靠的VS330H型设备改进而成。
2、顶部和底部分别采用多组红外灯管辐射加热,能分别进行独立控制,提升GETTER激活和封盖焊接温度均匀性。
3、自主设计水冷降温系统,提升真空状态下的降温效率和焊接质量。
4、设备具有降温速率可控功能,改善焊接应力。
5、设备具有多级气压控制能力,可以长时间稳定维持各种需要的真空值,满足多种工艺需求。
6、自主设计的水冷挡板,保证吸气剂激活时的高温辐射热量不会损伤管壳和管壳内部器件。
7、公司具有多位从事封装工艺的资深技术人员,具有丰富的夹具设计经验,可协助客户完成夹具设计和制作。
8、设备核心部件均采用国际知名品牌,从而保证设备的长期稳定性和可靠性。