简介： 小型分体式磁控溅射仪是一款小型的单靶磁控溅射镀膜仪，配有一个2英寸的磁控等离子溅射头。射频等离子电源和高压直流电源两种电源可选，用于镀膜各种薄膜材料。单靶射频磁控溅射仪体积小巧，功能出色、配置齐全，兼容超净间，性能稳定。可用于制备高质量的金属薄膜、半导体薄膜、介电、绝缘材料薄膜以及复合薄膜、多层异质结等，广泛应用于材料科学、电子工程、光学、航空航天等领域。