探针式表面轮廓仪
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探针式表面轮廓仪
来源:佛山菲斯特科技有限公司
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简介: KLA是全球半导体在线检测设备市场的供应商,在半导体、数据存储、MEMS、太阳能、光电子以及其他领域中有着极高的市占率。P-7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统,历经技术积累和不断迭代更新,集合众多技术优势。P-7建立在市场P- 17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。P-7可 以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
产品详细

探针式表面轮廓仪


佛山菲斯特科技有限公司KLA探针式表面轮廓仪(台阶仪),品牌属于:菲斯特,产地:广东·佛山,类别属于有机发光/太阳能电池解决方案。


KLA是全球半导体在线检测设备市场的供应商,在半导体、数据存储、MEMS、太阳能、光电子以及其他领域中有着极高的市占率。P-7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统,历经技术积累和不断迭代更新,集合众多技术优势。P-7建立在市场P- 17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。P-7可 以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。


从可靠性表现来看,P-7具有 业界先进的测量重复性。UltraLite@传 感器具有动态力控制,良好的线性,和***的垂直分辨率等特性。


性能特点:


◆台阶高度:几纳米至1000μm

◆微力恒力控制: 0.03至50mg

◆样品全直径扫描,无需图像拼接?视频: 500万 像素高分辨率彩色摄像机

◆圆弧校正: 消除由于探针的弧形运动引起的误差

◆生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化

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标签:探针式表面轮廓仪,轮廓仪
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