佛山菲斯特科技有限公司美国Cygnus小型实验室紫外光刻机，品牌：菲斯特，产地：广东·佛山，类别属于光刻胶半导体整体解决方案。

可置于手掌的紫外光刻-表面处理系统

·无需超净间，办公桌就可完成光刻

·快速:典型30~100s一次光刻

·无需复杂培训，几乎"零"维护

·3000小时寿命，曝光高达60000次，使用10年!

*按每次曝光3分钟，每周光刻120次计算

系统组成(光刻系统，光源+光刻模块):

·平面微腔阵列光源模块

·接触式光刻模块:接触式光刻曝光

系统组成(表面处理，光源+泛曝光模块):

·泛曝光模块:光刻胶去除和材料表面处理

·平面微腔阵列光源模块

专利技术的平面微腔阵列光源

·超高的输出强度:>10mW/cm2

·杰出的光束均匀度:可用光圈的3%

·绿色技术:无汞等有毒易燃气体和物质

·加工速度快、一致性好

一般实验室实现亚微米级加工

·光刻分辨率:<0.5μm，典型可达0.35μm

新一代紫外波长:172 nm

·无机物衬底可使用一般有机物做光刻胶(无需购买昂贵的光刻胶)

·无需显影，步骤简单、垂直度好、不会造成除胶困难