佛山菲斯特科技有限公司高精度狭缝涂布系统设备，品牌：菲斯特，产地：广东·佛山。

设备参数：

1.基材尺寸Max:300*300mm

2.涂布成膜均匀度:±5%(100mm幅宽下)

3.涂布刀口直线度≤2um/m

4.涂布头工作面直线度≤2um/m

5.垂直轴定位精度≤0.005mm

6.平台平面度精度:优于±5μm

佛山菲斯特科技有限公司高精度狭缝涂布系统设备结构&工艺

结构:主要由Y轴大理石直线电机模块及Z轴精密移动模块组成，还包括涂布头,涂布头调节模块，注液模块，风刀模块及电控部分组成。

工艺:所选涂料经过注液泵注入高精度涂布头，基材在大理石平台上被真空吸附定位，涂布头调平后直线电机平台装载基材移动，完成基片均匀涂布。

佛山菲斯特科技有限公司高精度狭缝涂布系统设备定制服务

1.涂布间隙检测系统

2.多尺寸刀头，多规格垫片

3.原位加热

4.其他