设备名称 Equipment Name

全自动石墨舟装卸片机 Automatic Wafer Handling System for PECVD

设备型号 Equipment Model

SMZ-IV

设备用途 Equipment Application

本设备为在线式，可与一台或两台侧出舟设备对接，实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸，满足在太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将片篮中的硅片自动装载到石墨舟，并将石墨舟输送到PECVD设备中，或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备，并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。

技术特点 Features

1、设备模块化设计，可以在线连接⼀台或两台PECVD。

With modular design,which can inline integrated with one or two sets of PECVD equipment.

2、采用PC机控制，平板电脑菜单操作，简单明了。

With PC control,tablet computer operation,which is easy and clear for operation.

3、具有在线隐裂⽚检测、在线膜厚检测、在线色差检测、在线CCD翘片检测及NG片自动处理功能(选配功能，价格另计)。

4、在线/离线配置。

Inline/offline configuration.

5、匹配AGV,RFID,可选配MES功能。

Compatible with AGV,RFID system,MES function optional.

设备参数 Parameters

型号 Model：SMZ-IV

硅片尺寸(mm)Wafer Size：156/166/18X/210/230可选optional

外形尺寸(mm)Footprint：不同产能设备外形不同varies according to different throughput

破片率 Breakage Rate：M10≤0.03%、M12≤0.04%

产 能Throughput：最大(Max) 9000 pcs/h

片篮Cassette：100/120片pcs

石墨舟类型Graphite Boat：416/432/448/576/680片pcs

功率消耗Power Consumption：15KW/18KW