设备名称 Equipment name

管式低压氧化退火设备 Horizontal Low Pressure Oxidation/Annealing Equipment

设备型号 Equipment Model

DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX

设备用途 Equipment Application

低压氧化、退火。

Low Pressure oxidation, annealing.

技术特点 Features

1、大产能。

High throughput.

2、配套相关专利技术，可兼容或升级硼扩散工艺。

Patented technology, compatible or upgradeable with boron diffusion process.

3、独特双嵌套炉门结构。

Unique double-layer-nested furnace door structure.

4、高速平稳整体模组推舟机构。

High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.

设备参数 Parameters

·最大兼容硅片尺寸:□230mm

·Max. Compatible Wafer Size:230mm

·单机管数:5管/6管

·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes

·单管装片量Loading Capacity/Tube

机型Model：182□210

DOA-420：1600片/管(pcs/tube)、1600片/管(pcs/tube)

DOA-420L：2640片/管(pcs/tube)、2400片/管(pcs/tube)

DOA-420MAX：3288片/管(pcs/tube)、2860片/管(pcs/tube)

·单机产能Throughput

机型Model：TOPCon、PERC

□182、□210、□182、□210

DOA-420(6管/tubes)：4800片/小时(pcs/h)、4800片/小时(pcs/h)、9600片/小时(pcs/h)、9600片/小时(pcs/h)

DOA-420L(6管/tubes)：7900片/小时(pcs/h)、7200片/小时(pcs/h)、15850片/小时(pcs/h)、14400片/小时(pcs/h)

DOA-420MAX(6管/tubes)：9850片/小时(pcs/h)、8550片/小时(pcs/h)、19700片/小时(pcs/h)、17100片/小时(pcs/h)

·外形尺寸(mm，含地脚)Footprint(mm, incl.leveling foot)

DOA-420：9080x2165x4300(6管/tubes)、9080x2165x3790(5管/tubes)

DOA-420L：9888x2076x4400(6管/tubes)、9888x2076x3750(5管/tubes)

DOA-420MAX：10408x2240x4490(6管/tubes)、10408x2240x3885(5管/tubes)