单室热蒸发镀膜设备-材料制备及加工设备-加工设备-产品-中冶有色网

简介： 单室热蒸发镀膜设备是一种采用物理气相沉积(PVD)技术的薄膜制备设备，主要通过电阻加热方式使镀膜材料蒸发并在基片表面沉积成膜。

单室热蒸发镀膜设备是一种采用物理气相沉积(PVD)技术的薄膜制备设备，主要通过电阻加热方式使镀膜材料蒸发并在基片表面沉积成膜。

该系列设备主要是以电阻加热的方式实现蒸发镀膜功能的，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质、半导体膜、有机膜、扫描电镜制作等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等，整套设备操作简便，综合功能多，扩展空间大，适合及满足大专院校的教学与科研工作。

权限真空度：≤5×10-5Pa

蒸发舟4套，束源炉2套

来源：沈阳科诚真空技术有限公司