双室热蒸发镀膜设备
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双室热蒸发镀膜设备
来源:沈阳科诚真空技术有限公司
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简介:
双室热蒸发镀膜设备是一种采用物理气相沉积(PVD)技术的精密镀膜系统,通过独立双腔室设计实现高效连续的薄膜制备。该设备主要应用于光学薄膜、电子器件、功能涂层等领域。
产品详细
双室热蒸发镀膜设备是一种采用物理气相沉积(PVD)技术的精密镀膜系统,通过独立双腔室设计实现高效连续的薄膜制备。该设备主要应用于光学薄膜、电子器件、功能涂层等领域。
该设备由金属热蒸发沉积室和有机热蒸发沉积室组成,包含4个金属蒸发源8个有机蒸发源。金属室附加一个手套箱,可使蒸发材料在保护气体的环境下放入蒸发源,也可使蒸镀好的样品在此取出。
样品通过小车在两个真空室之间实现传递。
每次可对四块样品进行蒸镀,并可在线掩膜两次。
每个蒸发源有独立挡板,防止交叉污染。
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标签:双室热蒸发镀膜设备,蒸发镀膜设备
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