设备技术指标：
1、金属真空室腔体:1套
1) 外形：304优质不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门)真空室腔体1套(真空室内部尺寸D400*480mm)，前后门配DN100视窗2套;
2) 底部：金属源接口4套，国产600L/S风冷分子泵接口1套(真空室内部口采用遮板防尘)，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口2套;
3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;
4) 左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。
2、金属蒸发源系统：1套
1) 金属蒸发源4套(金属室)：水冷
铜电极4组，兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源4台(一带一)(数字显示)，电流调整精度1A，功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀;
2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。
3、样品台系统：1套
1) 基片旋转：转速0～30转/分连续可调;
2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调;
3) 基片挂架：120×120 mm基片台，承载最多25片15×15mm基片(或可根据客户需求定做)，附掩膜板;
4) 基片水冷：φ180mm水冷台，接入冷水机冷却;
5) 基片挡板：电动挡板。
1) 国产600L/S风冷分子泵1台;
2) 8L/S直联旋片泵1台;
3) CF150高真空气动插板阀1台;
4) CF35高真空气动挡板阀1台;
5) KF16高真空气动挡板阀2台;
6) KF40高真空气动挡板阀1台;
7) KF40真空电磁充气阀1台;
8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;
9) ZDF-5227数显真空计1台(测量范围：1×105～1×10-5Pa)。
5、膜厚检测系统：1套
1) 膜厚仪：美国infocon，SQM310两通道石英晶振膜厚监控仪1台，
2) 膜厚探头：美国进口水冷膜厚探头2套。
6、设备机架：1套
1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;
2) 3英寸万向轮4件，移动调整;
3) M16地脚4件，锁紧定位。
7、其他电控系统：1套(电气控制采用1.8米电控柜内置或集约机架式结构)
1) 金属源电源：4台(1带1);
2) 烘烤照明电源：1台;
3) 总控制电源(配7寸触摸屏，PLC控制器，控制样品台，蒸发源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等)：1台。
8、其他技术参数：
1) 系统状态检测，误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能;
2) 供电：～220V两相供电系统(峰值5KW);
3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;
4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;
5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa。
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京公网安备 11010702002294号
